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干式螺桿真空泵的優(yōu)化選擇

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   隨著真空泵行業(yè)的發(fā)展,各個類型的真空泵爭香競艷,目前市場占有比更大的是水環(huán)真空泵。而小德今天的重點并不是水環(huán)泵,而是經(jīng)過分析未來真空泵形勢發(fā)展后認為以后會取代水環(huán)泵的另外的一種泵型—干式螺桿真空泵。水環(huán)泵占比大是因為其用途較廣,價格較低,還有當今的行業(yè)性質(zhì)決定的。但是隨著節(jié)能環(huán)保的倡導(dǎo),水環(huán)泵的淘汰是必然的,因為它會將污染物排出,這與節(jié)能環(huán)保是相悖的!螺桿真空泵內(nèi)有回收系統(tǒng),完全符合節(jié)能環(huán)保這一理念,并且用途更為廣泛,但為什么目前干式螺桿真空泵的市場占有比不高呢?除了價格高原因外,還有用戶對干式真空泵的了解不到位,看不到帶給企業(yè)的未來經(jīng)濟效益,本文著重講下干式真空泵怎么進行優(yōu)化選擇?
 
  螺桿真空泵
 
  對于這些不同類型的干式螺桿真空泵,我們都渴望能夠?qū)⑵湮锢沓叽鐪p小。但這與真空泵的抽氣速率相矛盾,因為真空泵的抽氣速率與真空泵的容積成正比,物理尺寸小意味著容積也小。當然,還有一個影響真空泵的抽氣速率的重要因素,那就是轉(zhuǎn)速。為了讓小尺寸的真空泵的抽氣速率與大尺寸真空泵的抽氣速率相匹配,就需要提高它的轉(zhuǎn)速。而想要改變真空泵的轉(zhuǎn)速有兩種方法,一是改變電源的頻率,即采用變頻器;二是改變齒輪箱的傳動比。其中,采用變頻器的好處是可以提供一個閉環(huán)控制,但在大負載下容易引起扭距的損失。而改變齒輪箱的傳動比是一種非常經(jīng)濟的方法,當然,它只能提供不可控的單一轉(zhuǎn)速。
 
  現(xiàn)在,可以看到干式螺桿真空泵有著如此多的不同設(shè)計,它們各自有著自己的特性和優(yōu)缺點。一直以來,使用成本是一個影響人們選擇真空泵的重要因素。越來越多的真空泵用戶意識到也應(yīng)該將真空泵運行的穩(wěn)定性考慮進去。因為真空泵的意外出錯會引起機器的使用效率降低,影響到晶圓的生產(chǎn)和交貨期,甚至造成所加工晶圓的報廢和機器其它部件的損壞。
 
  由于螺桿式設(shè)計為單級設(shè)計,同多級泵如圓裂片式,爪式以及組合式相比,其在零件的使用數(shù)量上減少了60%。這使得其在穩(wěn)定性和將來的維修成本上有很大的優(yōu)勢。
 
  今天,我們已進入干式真空泵時代,同過去旋片和活塞油式真空泵時代相比,一個受過良好培訓(xùn)的消費者在真空泵的選擇上起著舉足輕重的作用。
 
  根據(jù)具體情形,綜合以上所有設(shè)計類型的優(yōu)點一定是最理想的選擇,但目前還不太可能。因此,這就要求使用者首先要知道在干式泵的設(shè)計上有著如此多的不同設(shè)計類型,進而根據(jù)自身工藝特點了解各種不同類型泵的設(shè)計對其影響。這樣做出的選擇才能夠盡可能降低其使用成本,而獲得一個壽命較長的穩(wěn)定的真空系統(tǒng)。

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